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微热板芯片
基于MEMS制造工艺，采用悬膜式结构，低功耗，高可靠性。同步集成微型加热器和叉指电极，适用于各类MEMS气体传感器研制。
公司致力于MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器的研发、制造与销售，先后与多所双一流高校建立长期稳定的产学研合作，为市场提供高性能MEMS微热板芯片、MEMS气体流量芯片、MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器及模组等产品，在消费电子、智慧家电、工业控制、汽车电子等领域，为客户提供广泛且持续的商业价值。
微热板芯片
基于MEMS制造工艺，采用悬膜式结构，低功耗，高可靠性。同步集成微型加热器和叉指电极，适用于各类MEMS气体传感器研制。
半导体式H₂气体传感器
空气质量传感器
VOC气体传感器
HFC1000 热式气体流量芯片
HFC2000 热式气体流量芯片
HFS2000 气体流量传感器
HFM2000A 气体质量流量传感器
气体传感器气敏性能测试系统
气体传感器气敏性能测试系统
多通道气路流量控制系统
多通道气路流量控制系统
