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HFC2000 热式气体流量芯
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HFM2000A 气体质量流量
HFMV系列 气体质量流量计
HFMB气体质量流量传感器
HFC2000是采用MEMS技术制备的硅基热式气体流量芯片。该芯片的敏感元件是四个不同规格的热敏铂电阻，加热电阻位于芯片正中心，其余三个是测温电阻。当气体流过芯片表面时，测温热敏电阻阻值发生改变，通过检测电阻的改变量从而计算出待测气体流量值。HFC2000采用悬臂梁结构，核心区无效热损失少，功耗低、灵敏度高；电阻合理排布，精确度高。
1. 请勿触碰MEMS芯片表面，会造成不可逆转的损坏。
2. 芯片贴装时,需保持芯片水平。
3. PCB需做镀金处理，芯片可通过引线键合(wire bonding)工艺与PCB实现连接。
气体篇
气体流量篇
