
微热板芯片
基于MEMS制造工艺,采用悬膜式结构,低功耗,高可靠性。同步集成微型加热器和叉指电极,适用于各类MEMS气体传感器研制。
微热板芯片
基于MEMS制造工艺,采用悬膜式结构,低功耗,高可靠性。同步集成微型加热器和叉指电极,适用于各类MEMS气体传感器研制。
半导体式H₂气体传感器
空气质量传感器
VOC气体传感器
HFC1000 热式气体流量芯片
HFC2000 热式气体流量芯片
HFS2000 气体流量传感器
HFM2000A 气体质量流量传感器
气体传感器气敏性能测试系统
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多通道气路流量控制系统
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